Varian VHS-250 manuels

Varian VHS-250 Manuel d'instructions (62 pages)

marque: Varian | Catégorie: Pompes à eau | Taille: 1.58 MB |

Anglais

Table des matières

High Throughput

1

Diffusion Pumps

1

DRAFT 12/23/04

2

Contents

3

Declaration

7

Conformity

7

Diffusion Pump Hazards

9

DRAFT 12/23/04

10

Diffusion Pump Basics

13

Initial Vacuum Test

39

Operation

42

Maintenance

44

Troubleshooting

54

Replacement Parts

56

Sales and Service Offices

62

Varian VHS-250 Manuel d'instructions (60 pages)

marque: Varian | Catégorie: Pompes à eau | Taille: 3.39 MB |

Anglais

Table des matières

VHS-4, VHS-6 and

1

Diffusion Pumps

1

VHS-4, VHS-6 and VHS-250

2

Warranty

3

Contents

5

Instructions for Use

11

Documentation Standards

11

Diffusion Pump Hazards

12

❑ Oxidizer

14

❑ Ignition

14

Pressurization Hazards

16

Dangerous Substances

17

High Temperatures

18

High Voltages

18

D R A F T 6 / 1 8 / 1 3

19

Section 2. Operation

33

1/2 stud (11)

37

Section 4. Troubleshooting

45

Section 5. Replacement Parts

49

Safety Certification

55

Vacuum Products Division

56

57

Service & Support

60

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Modèles	Type de document
VHS-6	Manuel d'instructions Varian VHS-6 Instruction manual, 60 pages
969-9048 series	Manuel d'instructions Varian 969-9048 series Instruction manual, 45 pages
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Pompes à eau